两镜拼接主动光学子镜位姿调整方法研究

建立一个两镜系统用于模拟拼接镜面中各子镜面的相对位姿关系。提出采用相邻子镜边缘安装边缘传感器和设置倾斜传感器相结合的方法对子镜倾斜(tip/tilt)及轴向平移(Piston)3个自由度进行检测的位姿检测方法。采用理论控制矩阵和实测控制矩阵进行主动校正实验,实验结果表明:理论控制矩阵校正时,边缘传感器均方根误差不大于7.4 nm,倾斜均方根误差不大于0.080″;实测控制矩阵校正时,边缘传感器均方根误差不大于7.3 nm,倾斜均方根误差不大于0.076″。研究结果可为环型拼接主动光学子镜间相对位置自由度探测不足的问题提供参考解决途径。