任意结构的电容耦合直流放电的数值模拟 |
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作者姓名: | 凌长明 Wontaek Park 等 |
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作者单位: | [1]湛江海洋大学工程学院,广东湛江524025 [2]韩国三星高等技术院超级计算应用部,韩国 |
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摘 要: | 本文描述了二维模型下电容合的直流放电计算过程。发展了适用于任意结构下非正交坐标系的算法。提出了决定边界条件的相关技术,程序设计中发展了网络生成系统,使程序更适用,并且用图表说明了半导体机械中的一种典型的应用。
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关 键 词: | 直流放电 二维模型 适体坐标 电容耦合 数值模拟 等离子体 |
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