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| 任意结构的电容耦合直流放电的数值模拟 | |
| 作者姓名： | 凌长明 Wontaek Park 等 |
| 作者单位： | [1]湛江海洋大学工程学院，广东湛江524025 [2]韩国三星高等技术院超级计算应用部，韩国 |
| 摘 要： | 本文描述了二维模型下电容合的直流放电计算过程。发展了适用于任意结构下非正交坐标系的算法。提出了决定边界条件的相关技术，程序设计中发展了网络生成系统，使程序更适用，并且用图表说明了半导体机械中的一种典型的应用。 |
| 关 键 词： | 直流放电 二维模型 适体坐标 电容耦合 数值模拟 等离子体 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |