三甲胺[N（CH3）3]MIS传感器的研制

研制探测鱼鲜度的传感元件。用含铟杂质的ＴｉＯ２材料作溅射靶，采用氩离子束镀膜机在硅片上镀膜。用常规蒸铝技术和光刻技术制成ＭＩＳ结构２。结果表明：在１ＭＨｚ的测试频率下，当三甲胺浓度从０变化到０．１％，时电容发生了２５０％的变化。在３Ｖ的偏压下，电流改变了４５０％，直接用鲜鱼测试时，在２５ｈ内该结构的电容和电流的响应很敏感，且接近线性关系。