短距离精密测距技术的研究

本文根据浮子式液位计原位校准系统的要求与苏州第一光学仪器厂合作生产出一款短距离高精度测距仪,它采用相位法测距原理,在使用其配套棱镜时,10m范围内测距精度可达0.3mm。本文在分析和评定测距仪内符合精度的基础上,利用双频激光干涉仪校准系统,对仪器的精度进行了检定和分析,并通过三次样条插值等方法对测距误差进行拟合分析,利用拟合函数对测距误差进行改正,进一步提高测距仪的精度。最后通过验证,经过改正后的测距仪精度可达0.1mm。