| 带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵 |
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| 引用本文： | 陈建敏,游维松.带动态反应池的电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级四甲基氢氧化铵[J].岩矿测试,2009,28(6):603-604. |
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| 作者姓名： | 陈建敏 游维松 |
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| 作者单位： | 珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处,北京,100022 |
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| 摘 要： | 珀金埃尔默仪器(上海)有限公司地址:上海张江高科技园区李冰路67弄4号楼邮编:201203电话:021-38769510传真:021-50791310 E-mail:ji-jun.yao@perkinelmer.com网址:http:∥www.perkinelmer.com.cn四甲基氢氧化铵(TMAH)是一种澄清、水溶性好、碱性强的有机溶剂,作为显影液广泛使用在半导体及液晶显示器(LCD)产业的光刻制程中。由于TMAH的用途广泛,对于其中杂质含量的分析至关重要。在SEMI C46-03061标准1]中明确给出了25%(质量分数,下同)的TMAH中杂质含量的限值,即每个元素含量在10 ng/
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| 关 键 词： | 动态反应池 半导体级 四甲基氢氧化铵 热等离子体 电感耦合等离子体质谱仪 质谱仪分析 适应性 化学品 冷等离子体 多原子 |
Determination of Semiconductor Grade Tetramethylammonium Hydroxide by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell |
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