高精度的全息摄影测量

本文介绍一种外差全息摄影图象干涉测量法,并说明应用这种方法可以在不接触目标物的情况下,测量目标的位移,形变和弯曲,其精度分别为3×10~(-10)m,0.2um/m和9×10~(15)/m。还简要地讨论了这种方法的典型应用。尤其在位移和形变分析中,发现外差全息摄影测量术具有特殊的用途。它特别适合于用等值线来确定目标的形状和大小。在热传递和流体力学的研究中,也可以应用这种方法。当今,对于不接触目标物而测量其结构、设计和加工过程而言,外差全息图干涉测量是最正确、精度最高的方法。