裂相光栅平面转角误差分析

在光栅计量技术中,裂相光栅的一个重要特点,是其对标尺光栅与指标光栅之间的平面转角误差不敏感。本文从理论上对此转角误差的容限作出定量分析,从而为光栅导向机构的设计提供必要的依据。