电子级硅料清洗质量影响因素分析 |
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引用本文: | 赵云,陈辉.电子级硅料清洗质量影响因素分析[J].绿色矿冶,2023(6):49-52. |
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作者姓名: | 赵云 陈辉 |
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作者单位: | 洛阳中硅高科技有限公司 |
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摘 要: | 电子级多晶硅中金属杂质含量的控制要求较高,其生产工艺、后处理工艺比较严格。电子级多晶硅料在破碎处理中难免会造成二次金属引入的问题,因此对破碎后的电子级多晶硅料进行清洗显得尤其重要。本文分析了电子级多晶硅料清洗质量的影响因素,包括清洗工艺、清洗剂选择、清洗设备材质及环境洁净度和人为操作因素等,并提出相应的控制措施。
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关 键 词: | 电子级多晶硅 清洗质量 清洗剂 超声槽材质 环境洁净度 控制措施 |
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