基于分子电子传感器技术可用于行星探测的微型地震仪 |
| |
作者姓名: | H.Huang, B.Carande, R.Tang, J.Oiler, D.Zaitsev, V.Agafonov, H.Y.Yu, 孙宏志, 赵龙梅, 卢山, 刘一萌, 高业欣, 吕春来 |
| |
作者单位: | [1]不详; [2]辽宁省地震局 |
| |
摘 要: | 描述了一种基于分子电子传感器(MET)技术的微型机械地震计的研制过程。不同于固体惯性质量,分子电子传感器地震计是探测液体电解质相对于固定电极的移动。使用微机电系统技术将探测单元的内部尺寸减小到1μm并且提高了设备的再现性。对600mV的工作偏置电压,在0.32Hz的400μg(g≡9.81m/s2)加速度条件下可测得灵敏度为809V/(m/s2)。在1Hz获得的噪声水平为-115dB(相对于(m/s2)/Hz~(1/2))。这项工作研发了一个可供选择小尺寸、高灵敏度、低本底噪声、高振动范围和独立安装角度的地震计设备。这有希望成为下一代行星探测用的地震仪。
|
关 键 词: | 传感器技术 行星探测 分子电子 微型机械 地震仪 微机电系统技术 电子传感器 高灵敏度 |
本文献已被 维普 等数据库收录! |
|