X射线能谱分析中谱线重叠问题

扫描电子显微镜上配接Si(Li)探测器X射线能谱仪,进行地质样品分析时,由于它的峰,背比值较低和谱线分辨率不如X射线波谱仪,尽管探测效率很高,仍然存在谱线的干扰或重叠现象。谱线的干扰或重叠现象主要划分为三个类型:相邻或相近元素同一线系(K、L、M)的谱线之间重叠;原子序数较低的K线系谱线与原子序数较高的L线系谱线之间的重叠;原子序数较低的K线系谱线与原子序数高的L线系谱线以及原子序数高的M线系谱线之间的重叠。为了保证X射线能谱分析中定性分析的准确性,本文介绍了辨认和处理干扰或重叠谱线的技巧。