应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现 |
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作者姓名: | 李建飞 薛兵 张俊峰 朱小毅 王晓蕾 |
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作者单位: | 1. 中国地震局地震预测研究所,北京,100036 2. 北京港震机电技术有限公司,北京,102628 |
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摘 要: | MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)加速度计是采用微机电技术制作的产品,具有体积小、功耗低、外围电路简单等特点,广泛应用于振动检测领域;一些新型倾角仪的设计中也采用MEMS加速度计来记录静态加速度,然后进行后续计算.
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关 键 词: | 加速度计 恒温系统 零点漂移 环境温度变化 工作点 检测领域 小型 外围电路 技术制作 倾角仪 |
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