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电容测微计可算是近年来发展最快的位移测量方法之一。早在1910年,维利(Villey,J.)就开始应用电容器的原理来测量小位移,但是直到惠丁顿(Whiddington,R.,1920)的超测微计问世后才引起人们的广泛注意。电容传感器由于灵敏度高、精度高、动态响应好、结构简单等优点,因此很早就有人利用它来测量压力、流  相似文献   
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