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1 研究背景
利用传统平板式电容传感器对曲面结构进行检测时,难以设置合适的位置,而且传感器探头与被测物体的平行度对精度有较大影响.相比之下,球形电容传感器以其非平面检测方式,在各个方向具有相同的传感特性,对特殊曲面结构进行检测时具有较大优势.球形电容传感器发展至今大致为3种:球探头形、差动型以及柔性球形电容传感器.根据... 相似文献
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