X射线三维显微镜及其典型应用

X射线三维显微镜 (显微CT) 是目前发展最热门、成长最快的CT成像技术门类之一, 在微纳制造技术、新材料以及电子科学等领域起着十分重要的作用并得到广泛的应用。X射线三维显微镜能够以亚微米的细节分辨能力对被检测对象内部结构进行无损的三维成像, 是一种新型的检测设备。本文介绍了三英精密仪器有限公司研制的nano Voxel-2000系列X射线三维显微镜的结构和工作原理, 展示了该仪器在系统设计、成像方法及应用分析方面的特色。该系列的X射线三维显微镜最大管电压为150 k V, 采用5μm的微焦源实现低于500 nm的成像分辨率, 能够进行不同尺寸样品、不同分辨率的成像。在此基础上, 探讨了X射线显微镜的典型应用, 主要对样品的内部结构、形貌进行表征。希望典型应用的实例能起到抛砖引玉的作用, 吸引更多学者利用X射线三维显微成像技术开展科学研究, 拓宽X射线三维显微镜的应用领域。