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991.
微机电系统(MEMS)表面加工工艺中的材料层厚度是决定MEMS器件性能的重要参数之一,如多晶硅结构层厚度和牺牲层厚度,直接决定了MEMS器件的机构性能和结构的纵向移动范围,因此对材料层厚度进行测试和工艺控制监视是极具意义的.当前的材料层厚度测试大多采用光机械的方法,因其测试方法复杂、设备昂贵、测试时间长且很难集成到一个工艺控制监视(PCM)系统中,提出一种新颖的材料层厚度电学测试结构,该测试结构具有结构简单、测量方便并且便于MEMS测试系统集成的特点.通过软件对测试结构和测试模型进行闭环验证,结果表明,模拟值与理论值有较好的一致性. 相似文献
992.
正校本教材开发的根本目的应该是满足学生需要,适合学生学习,但是教师在开发使用过程中,却出现材料与事实有出入,提供的信息不完整,图片信息过于抽象,只考虑普遍性而不考虑特殊性,根据材料设计的问题过于片面等问题。对这些问题值得思考,认真对待。一、活动过程一位教师在"交通运输布局及其对区域发展的影响"一课的课堂教学过程中,设计了一个教学主题活动。 相似文献
993.
基于光纤光栅应变传感理论,开发以光纤光栅振动传感器为核心的周界入侵报警系统。由理论出发,建立了光纤光栅振动传感器设计框架。通过对不同尺寸质量块的实验研究,提出使用规格为4.5×20(mm×mm)的质量块;通过对不同光栅拉伸量的实验研究,提出0.8~1.0nm之间光栅拉伸量的光纤光栅振动传感器;通过对不同封装材料的对比实验,采用石英玻璃材料封装的方法。最后,将周界入侵报警系统进行了现场试验,波长检测范围是1 280~1 580nm,响应时间在3s以内,报警定位准确无误。 相似文献
994.
995.
为了给石英硅微粉绝缘灌注胶的制备与应用提供科学依据,采用数字高阻计、自制小型电极和WE-100型液压万能试验机等,研究了石英硅微粉电阻率特征及其对绝缘灌注胶电阻率和抗压强度影响,并采用扫描电镜(SEM)对材料微观组织结构进行了分析,结果表明:石英硅微粉的体积电阻率和表面电阻率都低于微晶白云母和α-氧化铝粉,但它们几乎处于同一数量级;石英硅微粉用量≤40phr时,对绝缘灌注胶的体积电阻率和表面电阻率都有一定的改善作用,当用量60phr~120phr时,材料电阻率呈逐渐下降趋势,但没有明显的不利影响;石英硅微粉对绝缘灌注胶的抗压强度有明显改善作用,当用量≤120phr时,随着用量的增加抗压强度会而逐渐增大;活性硅微粉对绝缘灌注胶电阻率的改善作用和抗压强度的增强效果以及掺入量都优于未改性硅微粉。 相似文献
996.
煤系地层为成层分布的沉积岩,煤层的开采会引起地表大规模的沉陷,发展适应此类介质的分析方法一直是本领域的研究热点。本文发展了一种新型的边界元方法来分析煤层开采引起的地表移动。该边界元方法基于层状材料基本解,采用4~8变结点单元离散边界,并采用有效的数值方法计算各类奇异积分。然后,用有解析解的算例验证建议数值方法。最后,采用新型边界元方法分析煤层开采引起的地表移动。本文所建议的方法在分析煤层开采引起的地表沉陷时具有较高的计算精度和效率。 相似文献
997.
998.
999.
多煤层开采条件下煤层覆岩破坏具有独特的特征,影响矿井生产布置。以陕北某矿为例,以该矿地质采矿条件为基础,采用相似材料模拟实验与数值模拟相结合的方法,通过建立模拟模型,开展了双煤层开采对覆岩的破坏影响研究。结果显示:留设不同宽度的煤柱,采用相似材料模拟和数值模拟2种方法得到的煤层覆岩垮落带高度、裂隙带高度都基本一致;在双煤层开采时,留设的煤柱宽度越大,两个煤层的叠置区域就越小,煤层开采对覆岩的破坏程度就越小。在工作面布置时,建议增大两个煤层的开采距离,并尽量增加煤柱宽度,以减缓覆岩移动破坏范围和破坏程度。研究成果为类似双煤层开采工作面的设计及覆岩破坏控制提供技术支撑。 相似文献
1000.
3月18日,湖南长沙的宁乡县举办了一场规模盛大的重点项目签约仪式,在这场签约总金额高达120亿元的盛典中,一项数目相对“较小”的签约却吸引了最多的关注:日本东洋铝业株式会社与湖南吉唯信金属粉体有限公司签订全资收购协议,并投资5亿元,在宁乡经济开发区建立新材料基地。作为世界500强企业、全球第三大铝业生产企业,日本东洋铝业也就此成为了第三家人驻宁乡的“500强”。 相似文献