| 电感耦合等离子体发射光谱法测定键合用硅铝丝中硅铁铜 |
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| 引用本文： | 宋小年,冯天培.电感耦合等离子体发射光谱法测定键合用硅铝丝中硅铁铜[J].岩矿测试,2006,25(2):189-190196. |
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| 作者姓名： | 宋小年 冯天培 |
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| 作者单位： | 西安微电子技术研究所,陕西,西安,710054 |
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| 摘 要： | 采用电感耦合等离子体发射光谱法测定硅铝丝（Al—1％Si）中Si及杂质元素Fe和Cu。确定了最少取样量和样品溶解方法，优化了元素分析谱线和仪器的测量条件。实验表明，方法的加标回收率为99％～1叭％，相对标准偏差（n=6）低于1．4％，Si、Fe、Cu的检出限分别为8．5、1．0和0．4μg／L。该方法应用于快速测定键合硅铝丝中的各种元素，结果满意。
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| 关 键 词： | 键合硅铝丝 电感耦合等离子体发射光谱法 硅 铁 铜 |
| 文章编号： | 0254-5357（2006）02-0189-02 |
| 收稿时间： | 2005-09-18 |
| 修稿时间： | 2005-09-182005-12-19 |
Determination of Silicon, Iron and Copper in Aluminum-Silicon Bonding Wire by Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry |
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| SONG Xiao-nian,FENG Tian-pei.Determination of Silicon, Iron and Copper in Aluminum-Silicon Bonding Wire by Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry[J].Rock and Mineral Analysis,2006,25(2):189-190196. |
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| Authors: | SONG Xiao-nian FENG Tian-pei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | aluminum-silicon bonding wire inductively coupled plasma emission spectrometry silicon iron copper |
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