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| 应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现 | |
| 引用本文： | 李建飞,薛兵,张俊峰,朱小毅,王晓蕾.应用于MEMS加速度计的小型恒温系统的实现[J].国际地震动态,2012(6):175-175. |
| 作者姓名： | 李建飞 薛兵 张俊峰 朱小毅 王晓蕾 |
| 作者单位： | 1. 中国地震局地震预测研究所,北京,100036 2. 北京港震机电技术有限公司,北京,102628 |
| 摘 要： | MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)加速度计是采用微机电技术制作的产品,具有体积小、功耗低、外围电路简单等特点,广泛应用于振动检测领域;一些新型倾角仪的设计中也采用MEMS加速度计来记录静态加速度,然后进行后续计算. |
| 关 键 词： | 加速度计 恒温系统 零点漂移 环境温度变化 工作点 检测领域 小型 外围电路 技术制作 倾角仪 |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |