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| 聚焦离子束显微镜技术及其在地球和行星科学研究中的应用 | |
| 作者姓名： | 谷立新 李金华 |
| 作者单位： | 中国科学院地质与地球物理研究所,地球与行星物理重点实验室,北京100029;中国科学院地球科学研究院,北京100029;中国科学院地质与地球物理研究所,地球与行星物理重点实验室,北京100029;中国科学院地球科学研究院,北京100029 |
| 摘 要： | 聚焦离子束-扫描电子显微镜作为重要的微纳米尺度精细加工、微小样品制备和微区原位显微分析设备,与其他高精尖显微分析仪器(如透射电镜、离子探针、原子探针和同步辐射等)配合使用,可为纳米地球科学发展提供重要技术支撑.本文在简要介绍聚焦离子束-扫描电镜技术的原理、功能和技术发展的基础上,重点展示该技术在加工制备透射电镜超薄片样... |
| 关 键 词： | 聚焦离子束 扫描电镜 透射电镜 原子探针 纳米地球科学 行星科学 |
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