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测量鱼鲜度的三甲胺MIS结构的敏感性与机理
作者姓名:吴英才
摘    要:以TiO为材料制作的Al/TiO2/SiMIS结构对与鱼鲜度有关的三甲胺气体有良好的响应。实验表明:当三甲胺体积分数从0-10^3×10^-6变化时,在1MHZ的测试频率下,样品的电容值改变了250%;在3V的偏上,电流变化了450%。鲜鱼死后在25h内,在较高温度下样吕的(C-t)和(I-t)关系响应敏感,并通过分析了TiO2膜各组分的介电常数,解释了样品的电容随体积分数变化的机理。提出了吸附模

关 键 词:MIS结构 三甲胺 鱼鲜度 传感器 测量 敏感性
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