低功率感耦等离子体的基本参量研究及偏离LTE的估计

本文以H_β线的Stark变宽测量为出发点,研究了低功率(0.7—1.3kw)条件下的电子浓度、电子温度、电离温度,并按照新的处理方式建立LTE(Local Thermal Eguilibrium局部热平衡)框架,用五种元素的br值估计ICP偏离LTE的程度。实验所提供的结果加强了Ar-ICP分析条件是偏离LTE不大或接近于LTE的结论。这对进一步探讨有关机理问题有重要意义。