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1.
CPT原子钟的微型原子泡加工工艺综述
荆彦锋
闫树斌
秦丽
任小红
《时间频率学报》
2010,33(1):47-53
原子泡是CPT(相干布居囚禁)原子钟物理部分的主体,对于微型原子钟而言,传统的吹玻璃法已不再适用,必须用新的技术和方法来设计加工原子泡。介绍了利用MEMS(微机电系统)技术结合吹玻璃法、空心光纤嵌套法和MEMS方法加工微型原子泡的工艺以及碱金属原子和缓冲气体的几种常见的注入方法。
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