影响AIN陶瓷热导率因素的研究

可用于海洋敏感器件封装的氮化铝陶瓷材料具有高的热导率特性,本文对它的热导率进行了实验研究。分析了影响烧结样品密度和热导率的因素。     

功率器件生产过程中对硅片电阻率下滑的补偿

用于制造功率器件的中子辐照区熔硅片，在经过１２５０℃、４０ｈ高温扩硼后，硅片体风电阻率下滑。本文通过实验表明了高温退火后硅片的冷却速率及硅片的厚度对电阻率的影响非常明显。并且介绍了将高温退火电阻率下降的硅片通过低温退火工艺对其进行电阻率补偿的方法。