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利用国产的光刻胶和国产离子刻蚀机在蒸镀的铝基衬底上进行刻蚀全息光栅,在国内是一项较新的技术。本文介绍和论述了该试验工作的工艺过程、参数计算和测试方法,得出了试验结果和参数计算值基本吻合的结论,并指出了进一步改善质量的方向。 相似文献
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