宋小年,冯天培.电感耦合等离子体发射光谱法测定键合用硅铝丝中硅铁铜[J].岩矿测试,2006,25(2):189-190196 |
.Determination of Silicon, Iron and Copper in Aluminum-Silicon Bonding Wire by Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry[J].Rock and Mineral Analysis,2006,25(2):189-190196.DOI: |
电感耦合等离子体发射光谱法测定键合用硅铝丝中硅铁铜 |
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Determination of Silicon, Iron and Copper in Aluminum-Silicon Bonding Wire by Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry |
投稿时间:2005-09-18 |
DOI: |
中文关键词: 键合硅铝丝 电感耦合等离子体发射光谱法 硅 铁 铜 |
英文关键词: aluminum-silicon bonding wire inductively coupled plasma emission spectrometry silicon iron copper |
基金项目: |
宋小年 冯天培 |
西安微电子技术研究所,陕西西安710054 |
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中文摘要: |
采用电感耦合等离子体发射光谱法测定硅铝丝(Al—1%Si)中Si及杂质元素Fe和Cu。确定了最少取样量和样品溶解方法,优化了元素分析谱线和仪器的测量条件。实验表明,方法的加标回收率为99%~1叭%,相对标准偏差(n=6)低于1.4%,Si、Fe、Cu的检出限分别为8.5、1.0和0.4μg/L。该方法应用于快速测定键合硅铝丝中的各种元素,结果满意。 |
英文摘要: |
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